零件的幾何精度：零件的實際幾何參數近似于理想幾何參數的程度。
加工誤差：零件的實際幾何參數對其理想參數的變動量。

零件的加工誤差愈小，幾何精度越高。零件的加工誤差，按其幾何特征的不同可以分為如下幾類。尺寸誤差：加工后的零件的實際尺寸與理想尺寸之差。幾何形狀誤差：零件實際幾何形狀(一般指各種線、面)與理想形狀的差別，分為：宏觀幾何形狀誤差(形狀誤差)，中間幾何形狀誤差(表面波度)，微觀幾何形狀誤差(表面粗糙度)。

公差：具有幾何參數誤差的零件，必將影響其預定的使用功能，在設計時應視其功能要求的嚴格程度規定一個合理的允許零件幾何參數的變動量。將幾何參數誤差控制在公差范圍內，以滿足零件的幾何精度和互換性要求。
互換性：在同一規格的一批零件或部件中，任取其一，不需任何挑選、調整或修配，就能裝在儀器上，達到規定的功能要求，這樣的一批零件或部件稱為具有互換性。儀器制造中的互換性，通常包括幾何參數(尺寸、形狀等)、力學性能(如硬度、強度)和理化性能(如化學成分、線膨脹系數)等方面的互換性。幾何參數的互換性由公差保證。

儀器精密配件尺寸：

尺寸：以特定單位表示線性尺寸的數值，由數字+長度單位組成，Φ50mm。
基本尺寸(L、l)：通過它由上下偏差算出極限尺寸的尺寸。結合強度、剛度計算和結構等方面的考慮，并按標準尺寸選取確定。
基本尺寸是由設計人員根據設計方法確定的理想尺寸。
實際尺寸(La、la)：通過測量獲得的某一孔、軸的尺寸。
實際尺寸通過測量可以獲得多組數據。
極限尺寸：一個孔或軸允許的尺寸的兩個極端。最大極限尺寸(Lmax、lmax)：孔或軸允許的最大尺寸。最小極限尺寸(Lmin、lmin)：孔或軸允許的最小尺寸。實際尺寸應位于極限尺寸之內，也可等于極限尺寸。
最大實體尺寸(MMS)：孔或軸具有允許的材料裕量為最多時的狀態下的極限尺寸。
最大實體極限(MML)：對應于孔或軸最大實體尺寸的那個極限尺寸稱為最大實體極限，即軸的最大極限尺寸、孔的最小極限尺寸。

別搞暈了，最大實體極限就是孔或軸在材料裕量為最多時的尺寸，孔在最小極限時有最大裕量，軸在最大極限時有最大裕量。

最小實體尺寸(LMS)：孔或軸具有允許材料裕量為最少時狀態下的極限尺寸。
最小實體極限：對應于孔或軸最小實體尺寸的那個極限尺寸，軸的最小極限尺寸，孔的最大極限尺寸。


總結：

一也精工認為決定零件加工精度的不光是加工工具的精度，還有加工方法、工藝流程可以提高精度。